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化學機械拋光液一般由去離子水、 磨料、ph值調節劑、氧化劑以及分散劑等添加劑組成,根據ph值不同, 分為酸性和堿性。

化學拋光液及其組分的作用.

1磨料

磨料在拋光過程中主要通過微切削、微劃擦、滾壓等方式作用于工件被加工表面,去除表面材料。的化學機械拋光過程是磨料的機械去除表面材料

厚度等于化學反應生成物層厚度,此時,磨粒只需較小的機械作用去除結合力較弱的化學反應層的生成物,可減少或避免拋光表面缺陷。磨料的硬度、粒

徑形狀及其在拋光液中的質量濃度等綜合因素決定了磨粒的去除行為和能力。

聚胺脂拋光片打孔的優點  為了增加拋光液的流動性、提高拋光速率，采用打孔類型的聚胺脂拋光片，一般孔的大小為2mm左右，根據鏡片口徑的大小、設備的轉速、R值的不同，孔的排列形式分為90度、60度、45度，更適用于球面加工。

聚胺脂拋光片帶背膠的優點  聚胺脂的粘結要選用流動性比較好的膠，有冷膠和熱膠兩種，如果膠層不均勻帶來拋光片的不平整，而造成拋光的光圈不穩，所以采用帶背膠的拋光片能達到膠層均勻，一般帶背膠的聚胺脂拋光片多用平面加工。

拋光墊其表面結構起到很重要的作用，其中的作用是影響著拋光墊儲存、運送拋光液的能力和表面局部應力梯度等，下面小福給大家講解下拋光墊的表面結構，讓大家更加了解拋光墊表面結構不同的作用。

拋光皮具有平整型和帶有不同溝槽型的表面結構，福吉常規開槽有（網格型，圓圈型，螺旋形、等形狀）不同形狀的溝槽起到不同的拋光效果。

①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區域；

②將拋光后的反應物、碎屑等順利排出；

③維持拋光墊表面的拋光液薄膜,以便化學反應充分進行；

④保持拋光過程的平穩、表面不變形,以便獲得較好的晶片表面形貌。

拋光液是拋光過程中的一種輔助物料，使用拋光液會使得拋光效果更好，物件更加光亮。

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