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              半導(dǎo)體手套箱信賴推薦

              發(fā)布時間:2020-12-05 13:13  

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              手套箱功能

              1、密閉循環(huán):真空手套箱和氣體凈化系統(tǒng)構(gòu)成一個密閉的循環(huán)系統(tǒng),由氣體凈化系統(tǒng)提供氣體循環(huán)動力。

              2、人機對話:配置彩色觸摸屏,中文界面,實現(xiàn)人機對話,操作便捷

              3、自動控制(由彩色觸摸屏的人機界面和PLC程序控制系統(tǒng)集成對系統(tǒng)進行控制)

              實現(xiàn)功能:手/自動控制箱體壓力;

              手/自動控制氣體凈化系統(tǒng)的凈化狀態(tài);

              自動控制氣體凈化系統(tǒng)的還原過程;

              手/自動凈化系統(tǒng)還原、凈化及轉(zhuǎn)換凈化柱(配置雙凈化柱時);

              自動箱體氣氛報警;

              箱體內(nèi)氣氛和壓力參數(shù)設(shè)置和手/自動轉(zhuǎn)換;

              氣體凈化系統(tǒng)自動控制功能的參數(shù)設(shè)置;

              查閱系統(tǒng)歷史紀(jì)錄;

              氣體凈化系統(tǒng)執(zhí)行機構(gòu)工況檢測;

              程序控制系統(tǒng)的操作錯誤和警告提示

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              手套箱的日常維護保養(yǎng)

              1.注意:通電后,若有無法啟動的問題,一種可能性是因為真空泵電源線連接松動,另一種原因是真空泵自身的開關(guān)未開啟。

              2.要樣品放入手套箱時,盡量使用小過渡艙,打開過渡艙門前需先注意閥門腔上的壓力表指針是否在零的位置。若是,則可直接打開;若否,則需先將閥門腔下的開關(guān)轉(zhuǎn)至“填充”的位置,使氣體進入手套箱過渡艙內(nèi),再將開關(guān)轉(zhuǎn)回中間位置,此時可以打開過渡艙門將樣品放入,再將艙門關(guān)上。放置樣品時,需小心不要用手觸摸過渡艙內(nèi)壁,請佩戴手套取放樣品。辦法:①檢查壓力設(shè)置是否正確、壓力傳感器是否異常,箱體真空閥或補1氣閥是否損壞,壓力回復(fù)正常后,再開啟分析儀和循環(huán)。







              手套箱常見故障及解決辦法

              1、循環(huán)和分析儀同時關(guān)掉

              原因:①箱內(nèi)壓力瞬間過高,超過 12mbar,系統(tǒng)自動保護;②電壓不穩(wěn),造成系統(tǒng)保護。

              辦法:①檢查壓力設(shè)置是否正確、壓力傳感器是否異常,箱體真空閥或補1氣閥是否損壞,壓力回復(fù)正常后,再開啟分析儀和循環(huán)。②檢查真空泵是否壞掉,無法運行。

              2、大、小倉無法補1氣

              原因:①手套箱內(nèi)通往大小倉的氣孔可能被塑料薄膜等堵塞;②電磁閥是否沒有打開。

              辦法:①根據(jù)管路走向,確定氣孔位置,疏通管路;②檢查線路及電磁閥。

              3、大小倉無法抽氣

              原因:①大小倉內(nèi)抽氣孔被塑料薄膜等堵塞或艙門漏氣;②倉門沒關(guān)緊,或是大小倉密封圈松動。

              辦法:①根據(jù)管路走向,確定氣孔位置,疏通管路;②關(guān)緊倉門,檢查大小密封圈;③檢查工作氣壓是否過低(因為大倉抽氣閥是氣動閥)。







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