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羅茨泵物理原理

羅茨泵 (roots-type pump) 是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于300mbar是地球表面可以觀測(cè)到低的大氣壓，所以，真空也指容器內(nèi)的氣體壓強(qiáng)低于300mbar的狀態(tài)。

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羅茨泵總體結(jié)構(gòu)三種方案

1、立式：兩個(gè)轉(zhuǎn)子的軸線呈水平安裝，但兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸線構(gòu)成的平面與水平面垂直，這種結(jié)構(gòu)，泵的進(jìn)排氣口呈水平設(shè)置，裝配和連接管道都比較方便。

2.臥式：兩個(gè)轉(zhuǎn)子的軸線呈水平安裝，兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸線構(gòu)成的平面成水平方向，這種結(jié)構(gòu)的泵的進(jìn)氣口在泵的上方，排氣口在泵的下方（也有與此相反的）。下邊的排氣口一般為水平方向接出，所以進(jìn)排氣方向是相互垂直的。排氣口接一個(gè)三通管向兩個(gè)方向開(kāi)口，一端接排氣管道，另一端死或接旁通閥時(shí)使用。排氣口接一個(gè)三通管向兩個(gè)方向開(kāi)口，一端接排氣管道，另一端死或接旁通閥時(shí)使用。

3、豎軸式：國(guó)外有的羅茨真空機(jī)組的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸線與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)的裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，占地面積小，但齒輪等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)裝拆不便，潤(rùn)滑裝置也較復(fù)雜。

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羅茨泵的真空度

真空度是指某一空間內(nèi)氣體的稀薄程度。壓強(qiáng)是指氣體分子對(duì)單位容器表面造成的壓力（壓強(qiáng)是壓力與面積的比值，即P=F/S）。

真空度與壓強(qiáng)的國(guó)際制單位均為帕斯卡（Pa）。真空度越高，表明氣體越稀薄，空間內(nèi)氣體分子數(shù)越少，因此，對(duì)器壁產(chǎn)生的壓力越小。由此得出真空度與壓強(qiáng)的關(guān)系：真空度越高，壓強(qiáng)越低；真空度越低，壓強(qiáng)越高。

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