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無塵車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無塵車間-潔凈廠房的竣工驗收，是在各分部單機試車，無生產負荷系統試車自檢合格后進行。竣工驗收的內容是對各分部工程的單機試車和無生產負荷系統試車的核查，潔凈室(區)性能參數檢測和調試、各分部觀感質量核查，按要求進行功能檢測和調試。

潔凈廠房竣工驗收時，應認真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄：

1 圖紙會審記錄、設計變更通知書和竣工圖;

2 各分部工程的主要設備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進場檢驗報告;

3 各分部工程的單機設備、系統安裝及檢驗記錄;

4 各分部單機試運轉記錄;

5 各分部工程、系統無負荷試運轉與調試記錄;

6 各類管線試驗、檢查記錄;

7 各分部工程的安全設施的檢驗和調試記錄;

8 各分部工程的質量驗收記錄。

潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設計開始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個核心。潔凈廠房保潔也離不開這個核心。潔凈廠房保潔技術潔凈廠房的建設雖然對塵埃控制有了很高的保障，但是，建筑裝修材料、設施設備、生產工藝、人員都會不同程度的發塵和塵埃積聚，尤其是10000級、100000級潔凈廠房(因建造成本限制)。

對于半導體工業而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。