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超高真空泵 是指在超高真空規模作業的真空泵。

 增壓泵 增壓泵通常指作業在低真空泵和高真空泵之間，用以進步抽氣體系在中心壓強規模的抽氣量或下降前級泵抽氣速率需求的真空泵。

選用真空泵時，需求注意的事項

真空設備對油污染的需求。若設備嚴厲需求無油時，大概選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。若是需求不嚴厲，能夠挑選有油泵，加上一些防油污染辦法，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能到達清洗真空需求。

真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響怎么。若是環境不允許有污染，能夠選無油真空泵，或許把油蒸氣排到室外。

真空泵的結垢與掃除

真空泵在運用過程中，會因為技術用水、 鈣鎂硬度、PH值、電導率、總堿度、溫度等要素發生結垢表象，然后構成如下損害： 　

　 1. 增大化學品的耗費和污染負荷； 　

　 2. 構成出產事端，削減設備壽數； 　

　 3. 增大非方案停機次數，構成出產連續，影響設備的出產功率。停機清潔，增加修理費用和額定的勞作負荷； 　　

單極旋片式真空泵是一種新穎的規劃較為完善的單極旋片式真空泵，它可以在盡情進口壓強下作業。 規劃特征：

一、在泵的內部裝有油霧消除器，能有用地消除泵排出的氣體中的油霧，避免油霧對周圍環境的污染。

二、在泵的吸氣口裝有逆止閥，當泵間斷時逆止閥與泵內專門設置的孔的聯合作用下，可以立即使泵與被抽系統隔絕，避免泵油返入被抽系統，一起堅持了被抽容器的真寬度，因此運用本型真空泵洋就可以不需要再配備帶有放氣的真空截止閥，然后可以減少用戶的運用費用。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及富含顆粒塵土的氣體。

三、本型泵配有油氣分離器，它與油霧消除器一起組成了有用的消音系統，能消除排氣噪音，避免噪音污染。