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發(fā)布時間：2020-11-15 07:45
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有機廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術(shù)
有機廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術(shù)。吸收法是利用有機氣體水溶性的特性，且添加次或等氧化劑，將有機廢氣中的有機氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍應用。生物處理法是利用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質(zhì)。生物處理法運行費用低，二次污染小，但處理條件嚴、持續(xù)時間長，占地面積大，故實際應用較少。焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機廢氣轉(zhuǎn)換成CO2與H2O，根據(jù)廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分子分離，而凈化有機廢氣。適用于集成電路產(chǎn)業(yè)的有機廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)的特點
沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒法也是目前被集成電路企業(yè)所廣泛采用的有機氣體處理方法。有機廢氣進入沸石轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪上的沸石吸附了廢氣中大部份有機成分，而使廢氣中有機成分的含量大幅低降低而成為較干凈的空氣，一部分較干凈的氣體排放至大氣中，而另一部份氣體則進入再生區(qū)，經(jīng)再生區(qū)后的廢氣則含有高濃度的有機成分，這樣可降低后續(xù)處理程序的操作成本。利用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪將大風量低濃度的廢氣濃縮為小風量高濃度，再以直熱式(燃氣式焚化的方式，將有機成分轉(zhuǎn)化為無害的CO：和水，以達到去除有機物的目的。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒系統(tǒng)的特點是可以進行動態(tài)吸附和解析，不存在吸附劑的飽和問題，適當?shù)恼{(diào)整轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速，再生溫度、風量等，可得到相當良好的效果，對于有機成分的去除率在90％左右，濃縮倍數(shù)可達5-20。
催化劑的物質(zhì)是什么?
催化劑的物質(zhì)是什么?樹脂、高沸點聚合物、焦油、重金屬（Hg、Pb、Sn、Zn），有機磷，磷化物，有機硅，及含氟有機物等物質(zhì)。不過催化劑抗性能與催化劑性能有關(guān)。
含Cl和含S的有機物會能用催化燃燒技術(shù)嗎？ 取決于催化劑性能，不過處理后的尾氣需二次處理HCl、SOx等物質(zhì)。
催化劑的熱穩(wěn)定性由于催化燃燒是強放熱反應，當VOCs濃度較高時，催化劑床層升溫明顯，因此要求催化劑有比較高的熱穩(wěn)定性。實驗室是測試高溫焙燒催化劑的活性與新鮮催化劑活性的下降幅度來表征催化劑的熱穩(wěn)定性的。
