化學氣相沉積技術擇優推薦「多圖」

提高強度和防腐蝕

近年來磁性材料的發展出現了燒結和粘結釹鐵硼元件，它可制成很小的形狀，使用Parylene涂敷工藝具有很突出的優良性。小型釹鐵硼磁性器件是易碎的，添加Parylene涂層另一個優點是還可增加強度。釹鐵硼材料對來自大氣中的潮濕產生的腐蝕也是很敏感的，Parylene較低的水汽透過率還提供了優異的防潮抗腐蝕防護。

一種低費用有效工藝

Parylene涂敷還能降低加工處理及勞動力的費用。因為它能用臥式機系統同時一批涂敷成千上萬個工件進行VDP工藝處理，這點與滾筒式電鍍相似。這種新技術開發和工程師設計師合適的使用現有技術及新的工具，將會有可能較好的解決當前遇到的一些復雜的問題。

帕利靈(Parylene)是一族由對二合成的熱塑性塑料聚合物的通稱。它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質，可以生成數百微米內任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無微孔無缺陷，化學性質不活潑等優良特性。由于真空沉積不使用催化劑和溶劑，產出的薄膜很純凈，釋氣量很小。有3種成熟的帕利靈材料：C型、D型和N型，帕利靈C透水性和透氣性比其他兩種小很多，應用廣泛。帕利靈C在溫度300K時太赫茲頻段的折射率大約為1.62，4.5K時降低到約1.5141。吸收系數約為數10cm-1量級。帕利靈C的這些特性使之成為硅、鍺材質的透鏡和窗口的合適的抗反鍍膜材料。

真空鍍膜主要分為一下幾類：

蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。

蒸發物質如金屬、化合物等置于坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質蒸發。蒸發物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。

薄膜厚度可由數百埃至數微米。

對于大面積鍍膜，常采用旋轉基片或多蒸發源的方式以保證膜層厚度的均勻性。