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              發布時間:2020-07-19 14:41  

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              2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻;

              3. 工藝參數任意調節,對靶材的種類沒有限制;

              4. 發展潛力巨大,具有極大的兼容性;

              5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。