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FSCU 用途

將 FSCU 嵌入到應用系統中，FSCU 可通過觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器（如北京七星華創、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進行轉換，從而實現氣路中常用元件的程序控制，實現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯動功能。

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體積流量的表示方法

對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min）,這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數, 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。

需要注意的是, 被全世界質量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協會制定的SEMI國際標準。

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質量流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

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