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              抽真空系統氦檢漏服務免費咨詢,科創真空

              發布時間:2020-12-13 10:26  

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              檢漏氣體測試前切勿使用水槽試漏

              檢漏氣體測試的漏孔通常非常微小或者是狹長的毛細管,如果在檢漏氣體測試前將漏孔置于水槽中,這些漏孔或者毛細管則將被水堵塞或充滿,而堵在漏孔中的水因為表面張力的原因,會非常不易從小孔中驅逐,從而大大影響檢漏結果。解決這一問題的辦法,只能通過漫長的干燥過程來排除這些水分。任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴的情況,某些不重要的設備中輕微的泄露沒有太大關系,但是在半導體器件、集成電路等重要電氣設備及儀器中,良好的密封才能決定儀器的正常使用,所以檢漏十分重要。

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              氦氣檢漏的原理


              大家都知道氣分子內部結構穩定,化學性質并不活潑并且密度較小,由于這些特性氦氣不會,也不容易和其他物質發生反應。因為這些性質,所以氦氣經常被用來檢漏。

              其實任何可以感測氣體分壓之質譜儀,均可以作為真空系統漏氣之偵測,通常為分子量較輕的氣體,氦氣滲透漏孔, 的質譜測漏儀,多將質普分析器固定在特定質量,通常為氦氣的質量,以氦氣為漏氣體在欲偵測處到處噴氦氣,觀察質普是否改變,來辦別是否有漏氣,這是氦氣檢漏的原理。在設備和廠房當中,常常有一些管道等連接的部位,這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺的細小孔洞,在使用時如果不注意就會導致泄露,從而造成事故。






              氦質譜檢漏用氦氣的選擇


              氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質量為3.65×10-27kg,在標準狀態下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點為4.214K,熔點為0.9K,三相點溫度為2.186K,三相點壓力為51.1×10-2Pa,在標準狀態下的熱導率為510.79J/(m·h·K),在標準狀態下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標準狀態下的動力粘度系數為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標準狀態下的氦氣體積為700L。真空壓力法的優點是檢測靈敏度高,能實現任何工作壓力的漏率檢測,反映被檢件的真實泄漏狀態。