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              發(fā)布時間:2020-08-20 19:17  

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              透明基板1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)蘇打玻璃(Soda-lime Glass)低膨脹玻璃(Low Expansion Glass)2、透明樹脂遮光膜(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。(2)乳膠。





              通過金屬化過程,在硅襯底上布置一層僅數(shù)納米厚的金屬層。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠。這層光阻劑在曝光(一般是紫外線)后可以被特定溶液(顯影液)溶解。使特定的光波穿過光掩膜照射在光刻膠上,可以對光刻膠進(jìn)行選擇性照射(曝光)。然后使用前面提到的顯影液,溶解掉被照射的區(qū)域,這樣,光掩模上的圖形就呈現(xiàn)在光刻膠上。石英玻璃(QuartzGlass)蘇打玻璃(Soda-limeGlass)低膨脹玻璃(LowExpansionGlass)2、透明樹脂遮光膜(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。通常還將通過烘干措施,改善剩余部分光刻膠的一些性質(zhì)。





              光刻(英語:photolithography)是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu),然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所在襯底上。這里所說的襯底不僅包含硅晶圓,還可以是其他金屬層、介質(zhì)層,例如玻璃、SOS中的藍(lán)寶石。勻膠鉻版(光掩膜基版)由玻璃基板、鉻層、氧化鉻層和光刻膠層構(gòu)成的。

              集成電路(英語:integrated circuit,縮寫:IC;德語:integrierter Schaltkreis)、或稱微電路(microcircuit)、微芯片(microchip)、晶片/芯片(chip)在電子學(xué)中是一種把電路(主要包括半導(dǎo)體設(shè)備,也包括被動組件等)小型化的方式,并時常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上。前述將電路制造在半導(dǎo)體芯片表面上的集成電路又稱薄膜(thin-film)集成電路。另有一種厚膜(thick-film)集成電路(hybrid integrated circuit)是由獨(dú)立半導(dǎo)體設(shè)備和被動組件,集成到襯底或線路板所構(gòu)成的小型化電路。機(jī)顯時還要注意以下幾點(diǎn):①要定期維護(hù)顯影機(jī),以保證已曝光的PS版顯影能正常進(jìn)行。






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