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發(fā)布時(shí)間:2021-01-06 20:24  
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進(jìn)行顯影的方式有很多種,廣泛使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個(gè)階段:硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)上,并且在硅片表面上噴灑顯影液;然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進(jìn)行顯影;顯影完成后,需要經(jīng)過(guò)漂洗,之后再烘干。
產(chǎn)生影像的過(guò)程稱(chēng)為顯影。顯影是在印刷、影印、復(fù)印、曬圖等行業(yè)中,讓影像顯現(xiàn)的一個(gè)過(guò)程。曝光顯影工藝流程中拋光工序風(fēng)輪加青蠟會(huì)出現(xiàn)鏡面拋不透,發(fā)白現(xiàn)象。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種曝光顯影的方法,該曝光顯影的方法可以解決鏡面拋光不透發(fā)白等問(wèn)題。
檢查OK后才可以放入下一道工序:蝕刻。經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,感光(爆光)完成后就要進(jìn)行下一步工作:顯影;顯影的目的是通過(guò)顯影將未爆光的地方?jīng)_走,經(jīng)過(guò)爆光的地方固化,形成蝕刻圖案,經(jīng)過(guò)顯影后質(zhì)檢員對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行檢查,把顯影不到的地方或圖案不良的產(chǎn)品挑選出來(lái),良品則進(jìn)入下一道工序:封油。