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發布時間:2020-12-29 08:28  
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淄博齊韻泵業科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良,并有完善的質量管理體系,可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。
關泵。
水環真空泵要停泵時,應先關閉真空泵吸氣管路上的閥門,防止真空泵停泵后恢復常壓狀態,所吸的容器還是負壓狀態時,水箱出現回水現象。關閉進水閥門后關閉電機,這樣是為了把真空泵泵腔里的水排出一部分,避免下次水環真空泵啟動時,泵腔內水過多而造成電機的啟動負荷過大。
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上游的吸附劑雖然在裝填時通過篩選等步驟去掉了大部分粉塵,但是隨著運行時間的增加和介質氣流的沖刷,總會或多或少地產生新粉塵,而進入水環式真空泵內的粉塵隨時可能進入機封的密封部位,對其造成損傷。
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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:
半導體真空泵應用時,抽取介質過程中經過反應室與真空泵,其成分可能極為復雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設是油封式機械泵,這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質,就可能堵塞真空泵或管路系統,影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設置過濾設備。
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