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蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。

為了使用方便和真空工藝過程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。

處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應保持地基水平，

結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍，

檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

 立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。

按電動機標牌規定連接電源，并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵，按規定接通冷卻水。真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，