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發布時間：2021-08-16 18:11
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半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。再者，氦的執導率高，增加了人仃熱損失率，以至于常常必須使用有效的潛水衣和呼吸氣預熱器。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。
近幾年來，智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解，我國在國產化方面取得可喜進展：國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純已成功打開。若一系統中所包含的基本單元（可以是原子、分子、離子、電子或其他粒子）數與0。
電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.
其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。
氦氣是惰性氣體，無毒，性質也不活潑，對人體無害。但是大量吸入會導致窒息甚至！氦氣畢竟不是氧氣，過多吸入氦氣會導致人體缺氧，輕者會感覺疲憊，重者可能會頓時眼前發黑直接窒息昏迷！氦氣在電弧溫度條件下的惰性使其成為鋁、不銹鋼、銅和鎂合金等高導熱性材料焊接的理想氣體，還可用作熱處理過程中的淬火氣體以及熔爐氣體，提升零件耐性和質量。更有甚者不是通過氣球來吸入氦氣，如果是由高壓氣瓶中直接吸入高純氦氣，那么其高流速就會嚴重地破壞肺部組織，直接對人體造成傷害！
氦氣高濃度時，使氧分降低而發生窒息。氦濃度達到50%以上引起嚴狀；呼吸加速，注意力 不集中，疲倦乏力，惡心、嘔吐。75%以上時可在數分鐘內。
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