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激光氣體的介紹

一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質的激光氣，統稱為氣體激光氣。這是目前種類zui多、發展zui快應用zui廣的一類激光器。通常可以把氣體激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準分子激光器、氣體激光器的激勵方式很多，通常采用氣體放電激勵，氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧。

目前掌握激光甲1烷氣體探測芯片生產制造技術的國家主要是加拿大、美國、日本、挪威等甲1烷激光氣體傳感器芯片大規模量產，也意味著將實現國產替代進口芯片。事物都由原子構成，而不同元素的原子會吸收或釋放不同頻率（波長）的光。基態原子吸收能量就變成激發態原子，而激發態原子釋放能量就變成基態原子。除了質譜儀就只有激光氣體分析儀了，但是質譜儀對儀器環境和氣體預處理要求很高，它的日常維護也不簡單，重要的是價格老貴。

隨著人們環保意識的不斷增強以及各國政府對大氣污染防治的重視，為氣體傳感器的應用創造了巨大的市場機會。激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。從光譜上可以看出，對于CH4、CO、CO2，在近紅外、中紅外和遠紅外區域都有吸收譜，并且其佳的激光是用中紅外激光；而對于氨氣，遠紅外激光來測量好。

如果將氦（He）nai（Ne）激光作為1代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化ke（KrF）激光，可稱為第三代激光。我們必須承認，氦氣與ya氣相比，確實有比較高的電離率和較低的等離子體形成電壓，但是它的分子重量較小。因此，氦保護氣需要較大的流速。除了質譜儀就只有激光氣體分析儀了。