多功能化學氣相沉積值得信賴 東莞拉奇納米

帶鋼鍍膜質量好，能獲得均勻、平滑且極薄的鍍膜，鍍膜純度高，耐蝕性和附著力好。鋼帶鍍膜前可經電子束預熱表面活化，鍍膜純度高，沒有中間硬脆的合金層，可以一次沖壓成型，甚至可以卷成直經很小的管而不脫落鍍層。

工藝靈活，改變品種方便，可以根據產品要求靈活地實現在鋼帶上鍍單面、雙面、單層、多層，可以同時鍍兩種材料達到鍍混合膜。鍍膜厚度易于控制，而且可以鍍制超薄膜。

國內外實踐證明，大功率電子槍是鋼帶連續真空鍍膜工藝的理想熱源。這是因為

（1）電子槍發射的電子束經聚焦后可達到極高的能量密度，轟擊坩堝鍍膜材料，可使其溫度達到3000℃以上，遠比電弧溫度高。

（2）電子束能量轉化率高達80%-90%，采用磁偏轉系統可以方便地進行電子束聚焦和掃描，加熱均勻。

（3）電子束只轟擊鍍膜材料表面，不會由于其它材料的摻入而引起夾雜問題。

（4）電子槍蒸發鍍膜機使用時的束斑直徑、電功率、加束電壓、掃描軌跡、頻率等參數都容易實現調節。

（5）使用電子槍還可以在鋼帶鍍膜生產過程中對被鍍鋼帶進行真空預熱，就是使用電子槍清潔鋼帶，轟擊表面使其活化。通過電子束不停的掃描，鋼帶表面溫度控制在200~550℃，這種預熱是鋼帶鍍膜和提高鍍膜附著力所必須的。

一、鍍膜作業步驟:1.鍍膜前洗凈。2.抽檢鏡片外觀確認(裂邊,傷痕,不潔)情況,全檢鏡片鎖板情況(鏡片傾斜）。3.確認好準備鍍膜的鏡片(數量,機種,面別)并做好相應記錄。4.上傘,將鏡片從包裝盒內裝到鍍膜機臺傘架上(主意帶手套拿取鍍膜板四周,勿碰到鏡片。5.區分需要鍍膜鏡片種類面別。6.清潔坩堝電子槍周圍用銅刷刷,吸,并添加藥材。7.確認晶振片,監控片是否OK在新的位置。8.確認機臺內無雜物,后關門排氣加熱。9.鍍膜選取相應的制程。10.人員鍍膜過程中進行監控。11.下傘，將鍍膜后的鏡片從傘架取下,放入包裝盒。12.抽檢，主要為膜點,霧狀,顏色異常,不潔。13.光譜測量采用奧林巴斯反射測定儀和U4100分光光度計。14.傘架每圈抽1PCS共5圈。15.膜強度測試(采用3M膠帶粘拉膜3次)。氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5，五氧化二鈮Nb2O5，五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3，氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。16.光譜量測OK后可送出。