遼寧正壓質譜檢漏真空系統品牌承諾守信「多圖」

氦質譜檢漏儀的結構

氦質譜檢漏儀離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲(陰級)、離化室及離子加速極組成。

燈絲在真空中通電加熱后發射電子，在離化室與燈絲之間的電場作用下，電子加速穿過離化室頂部狹縫進入離化室，在離化室中與氣體分子發生多次碰撞后損失能量，Z后打到離化室上形成電子流，成為發射電流的一部分。電子在運動的過程中碰撞氣體分子而使氣體分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電壓U(即離子加速電原)作用下，相繼穿過離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場對離子做的功轉變為離子的動能，便形成具有一定能量的離子束。

氦質譜檢漏儀的檢漏方式有哪些

氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。

逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

氦質譜檢漏儀逆擴散原理

逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高，氦質譜檢漏儀可達1000Pa（一般常規檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受污染，燈絲壽命長等優點。

氦質譜檢漏儀的保養注意事項

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。

3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。

6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發現問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。