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發布時間:2021-09-28 18:41  
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一、當氫能作為一種燃料時,必然具有分散性及間歇性使用特點,因此必須解決儲存及運輸問題。儲氫、輸氫技術要求能量密度大,儲氫及放氫所耗能量少、安全性好,并符合車載狀況的要求等。目前均已試驗了以高壓氫、儲氫材料儲氫和液氫為燃料的樣車,已使燃料電池電動車實現了真正的排放。
建立氫供給的公用設施方面,美國加得、加利福尼亞州已決定年秋在西薩克拉蒙多建造氫氣加注站,為在城市試驗的臺質子交換膜燃料電池為動力的電動車加注燃料。日本也有這方面的計劃準備實施。但好的方法是利用重整制氫技術,這樣可利用現有的加注的公用設施,不必新建燃料的供給設施,進行復雜的改造,而且的能量要比天然氣和甲醇高。該項技術如果得以突破,則以質子交換膜燃料電池為動力的電動車可與內燃機車共用加油系統。


氣體避免接觸火花、電流、電弧、必要的還要加裝防靜電裝置,氧化性氣體避免接觸油污、材料、使用管道要無油,有毒氣體使用時不可放在屋內,要有專門的氣體放置區,腐蝕性氣體要避免人員接觸,氣體儲存區要嚴禁明火、嚴禁吸煙。
一、氣體和氧化性氣體使用時使用人員千萬不可自己混合,如需混合氣體需有技術條件的廠家來提供。
二、 氣體使用時所能接觸的材料,不能有和此種氣體不相容或起反應的材料。
三、使用人員要按照所使用氣體質做的性必要的防護措施(穿戴護照的安全眼睛、防毒面具、相應材料的防護服、皮手套等),廢氣要按照合適的方法處理。
四、氣體要在保質期內使用,不可超期使用。
五、 氣體使用期間,如發現問題應立即停止使用,待問題調查清楚并解決后方可繼續使用,如屬于氣體性質原因所引起,應終止使用,把剩余氣體按合適方法處理

隨著微電子工業的不斷發展,特別是超大規模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導體制造工藝中的超凈氣體的品質要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質及控制要求極為嚴格,已達到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質對半導體制造的整個過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內部侵人擴散,誘發結晶缺陷,是導致半導體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。
熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統造價昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。
