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影響誠薄機誠薄硅片平整度的因素有哪些?

要保證硅片厚度的一致性。因為當研磨時，由于磨料分布不均勻，使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會不一樣，所以要想保證硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時間時將行星齒輪片翻轉后再進行研磨，從而確保硅片厚度的一致性，同時也讓硅片厚度公差得以縮小，具體要研磨多久才進行翻車專為適當，是要根據減薄厚度和測試結果來定的。

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立式減薄機IVG-200S設備規格

設備規格：

1）磨盤主軸系統

A） 類型：滾子軸承

B） 電機：AC 伺服電機(3.0kW)

C） 砂輪規格：Ф200mm

2) 工件盤主軸系統

A)     類型：滾子軸承

B)     電機：齒輪電機（0.75kW）

3) 進給系統

A)     類型：Combination of Ball Serve and LM Guide

B)     電機：微步進給電機

C)     控制：0.1μm Control by Linear Scale Feedback

4) 控制系統（PLC）

A)     制造商：Parker Hannifin Co.

B)     控制器：SX Indexer/Drive

C)     顯示系統：EASON 900

5) 輔助設備

A)     電源：220V，50Hz,3相，5kW

B)     氣壓：5.5-6kgf/cm2  (0.55-0.6Mpa)

C)     離心分離機：Sludge Free(SF100)(選配件)

D)     水箱容量：200L

E)     冷凝器：0.5kw

F)     過濾裝置：20μm,10μm Cartridge Filter

6) 尺寸及重量

設備尺寸：1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)  

設備重量：1,400kg  

立式減薄機IVG-200S設備結構

1．構成

2）工件盤主軸系統

3）進給系統

4）控制系統

5）輔助設備

2。規格

1）砂輪尺寸：（O.D）200mm×(X)7mm×(T)5mm

2）加工尺寸：較大Φ250mm

3）速度和功率：

砂輪：3,000rpm(無級可調)  3.0kW AC伺服電機

工件：200rpm （無級可調）   0.75kW 齒輪電機

4)分辨度：0.001mm

5)精度：±0.002mm

6)重復度：0.001mm

7)研磨范圍：200mm

8)進給率：0.1μm-1000μm/sec