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發布時間:2021-10-24 07:04  
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光學薄膜在高真空度的鍍膜腔中實現。常規鍍膜工藝要求升高基底溫度(通常約為300℃);而較先進的技術,如離子輔助沉積(IAD)可在室溫下進行。薄膜沉積的傳統方法一直是熱蒸發,或采用電阻加熱蒸發源或采用電子束蒸發源。薄膜特性主要決定于沉積原子的能量,傳統蒸發中原子的能量僅約0.1eV。薄膜的光學性質,如折射率、吸收和激光損傷閾值,主要依賴于膜層的顯微結構。薄膜材料、殘余氣壓和基底溫度都可能影響薄膜的顯微結構。抗指紋處理訂購