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發布時間：2021-01-22 23:03
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渦旋真空泵的主要性能表征參數
5.1.1間隙大小
間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設計精度、加工精度和
裝配精度進行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以
由式((2.11)計算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R (5.1)
5.1.2抽氣速率
理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉速和是否是雙側渦旋共同決定的一
個反映抽氣性能的參數，也叫幾何抽速。假設轉速為n(轉/秒)，并且該禍旋泵
為雙側渦旋，那么Sth可表達為下式:
S1,=2仇、 Vol卜(5.2)
其中VII, Vo;分別為轉子和定子所形成的外層完整內壓縮腔和外層完整外壓
縮腔的容積。、
實際抽速是指泵實際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄
漏，其實際抽速S要低于理論抽速Sth，設P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，
Q。為總泄漏，則〔10)
S*PL=Sw*P,司t
則實際抽速為
g
J=J'*一下了
r,
(5.3)
5.1.3極限壓力
渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉，在測試罩內所能達
到的穩定時的低壓力，用P。表示。此時泵的實際抽速S=O，令式((5.3)中的實際
抽速S=O，即可得極限壓力〔10)
(5.4)
愛德華真空泵軸承的檢修標準
愛德華真空泵相對其他單級選片式真空泵具有更高的精度，同時結構相對來講比較復雜，所以我們在愛德華真空泵維修時需要制作精度較高的專用工具來對泵浦進行拆卸、安裝，下面就其軸承的檢修與裝配跟大家交流下。
拆卸軸承應使用專用工具，安裝時不得用錘直接敲擊軸承，需敲擊時必須墊以軟金屬。
裝配軸承時，應先檢查軸承質量、配合尺寸偏差等是否符合要求。
軸承內圈端面應與軸肩靠緊
軸承采用加熱安裝時，加熱可采用油浴，油溫不超過100-120度，軸承油浴時間10-15Min，嚴禁用火焰直接加熱軸承。
化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。氣體減排選擇每個CVD制程都需要某種形式的氣體減排設備，以便可以將有毒和危險的制程副產品安全地轉換為可任意處理的元素。
干泵選擇
CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。溫馨提示：如果愛德華EH1200羅茨泵漏氣，有點卡死，記得致電專業的羅茨真空泵維修廠家，不可擅自處理，以免引起其他不良的故障反應。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確?？梢?將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設定點和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。Drystar泵可以與EdwardsEH系列機械增壓泵結合以提高泵送性能。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設定點上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
