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發布時間:2021-10-16 07:07  
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正壓法氦質譜檢漏
采用正壓法檢漏時,需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣,當被檢產品表面有漏孔時,氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中,再采用吸槍的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量,從而實現被檢產品泄漏測量。按照收集氦氣方式的不同,又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。
背壓法氦質譜檢漏
采用背壓法檢漏時,首先將被檢產品置于高壓的氦氣室中,浸泡數小時或數天,如果被檢產品表面有漏孔,氦氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中,使內部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內,被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率,需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。
氦質譜檢漏儀的進展
(1)便攜式:各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。檢漏儀在使用過程中,往往會因為產生的一些故障或是現象,而影響檢漏工作的正常進度,若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。