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              愛德華干式真空泵維修注液真空系統「多圖」

              發布時間:2021-09-01 15:33  

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              真空泵油注意事項:

              1、真空泵油在密封條件下保質期可以達到3-5年

              2、新泵浦初次使用500小時后更換泵油,以后每工作1000-1500小時更換一次。(注:使用環境比較惡

              劣要經常觀察泵油顏色)

              3、檢查油位鏡,當泵油變成黃褐色轉入黑色或變成乳白色,需要更換真空泵油。

              4、合理地選用真空泵油, 將會對泵的極限分壓力、極限全壓力、起動、功率消耗、泵溫、泵性能的穩

              定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。

              5、供應進口真空泵油,進口真空泵,原廠真空泵配件,真空泵維修保養,真空系統定

              做與設計。


              化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行,其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。6l電源供給240V/380V/400V/415V220-240/380-415V50Hz3?380-400/400-415V60H。

              干泵選擇

              CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是:

              粉末

              許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下,粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。定期檢查電動機電流值,不得超過電動機額定電流泵長期運行后,由于機械磨損,使機組噪聲級振動增大時,應停機檢查,必要時可更換易損零件及軸承,機組大修期一般為一年。 對于幾乎所有產生粉末的制程,您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵,以確保泵在應力下保持 旋轉。

              冷凝

              半導體 制程的某些副產品含有氣體,當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時,這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時, 您將需要非常熱的泵,是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

              腐蝕

              有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性,但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品,您需要確??梢?將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。制程還以不同的壓力和流量狀態運行,其中的許多狀態都使用含氟的干燥清潔制程。對于某些 CVD 制程,需要在溫度設上 達到平衡,以確保避免任何冷凝問題, 同時不使腐蝕速度過高。


              真空泵泵體振動大的原因有哪些?

              水環變化:若水環內徑變大(供水不足所致),則葉片頂端將與水環內壁發生碰撞,產生振動。若水環內徑變小(供水過量所致),其對葉輪的擾流及阻力損失增加,引發振動,同時增加泵的功耗。上海真空泵工作中,一定要保證合適的工作水供水量,若進水管發生結垢及堵塞現象。iH干泵系列的峰值抽速從80到1800立方米/小時,其中iH1800干泵是專為高排量應用而設計的。只憑進水壓力不能準確衡量進水供應情況,一般可通過觀察上海真空泵的排水量來判斷水環的工作情況。






              在真空泵機組定期一切換過程中,多次發生過類似異常。在備用真空泵機組啟動、原運行泵停運后。凝汽器真空便開始緩慢下降,約15~30min后可下降5~6kPa,在此過程中,發現氣水分離器內處于負壓狀態,這是一種異?,F象。相對系統油封真空泵系統,它具有價格低廉、性能優良和結構緊湊等優點,是一套清潔、耐用的抽氣系統。好凱德真空科技分析認為,真空泵機組工作不正常,導致噴射器抽吸力降低,使得凝汽器真空下滑。






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