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液氬 - 用途

高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。

液氬的操作和儲存

操作處置注意事項：密閉操作，加強通風，設有事故強制通風設備，操作人員必須經過專門培訓。持證上崗，操作時嚴格遵守操作規程。充裝時要控制充裝速度。充裝時間不少于30min。液氬泄漏嚴防傷。

液氬應用

不銹鋼、鋁、鎂、銅、鎳、鈦、鉬及其合金的氬保護焊接，利用其惰性防止工件氧化、氮化，提高可焊性和焊接質量。

液氬貯槽使用前的準備工作

吹除處理：氣密性試驗合格后，需要干燥無油的空氣對貯槽內筒系統進行吹除處理，用以去除潮濕空氣，系統在用干燥空氣或氮氣吹除之后，還應用產品氣體吹除，直到排除氣體純度打到要求為止。

液氬 - 制法

采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進行精餾，得到粗氬，粗氬經進一步提純可得到高純氬。

在鈦、鈷及其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中，氬氣用于吹煉特種鋼，以提高鋼的質量，特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。

高純液氬在操作過程中的注意事項

高純液氬極易揮發，在使用的過程中要保持密封的，將其放置在通風條件良好的地方，防止其泄露后產生的氣體散發到工作環境中。

高純液氬在運輸過程中是禁止與可燃性氣體同時運輸的，明火和熱源禁止接觸液氬，只有規范化的操作才能保證安全。