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從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產包括硅單晶棒生產和光伏新能源硅晶片生產兩大部分，細分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產工序的空調凈化系統和自控系統的設計方案。

凈化工程系統用的新風空調機組（MAU）和循環空調機組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經潔凈蒸汽發生器產生。

1 CP室凈化級別為7級，換氣次數取為30次/小時，CP室工藝設備用酸量較多，采用全新風空調機組（MAU-3） 過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。其氣流流程為：新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-過濾器送風-潔凈區。

2 ML室凈化級別為7級，換氣次數取為30次/小時，采用新風機組（MAU） 循環機組（AHU） 過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。新風接自其它系統共用MAU-1、2新風組。

3 CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6 級，換氣次數取為50次/小時，采用新風機組（MAU） 循環機組（AHU） 過濾器送風口（HEP-ABOX）的空調方式。新風接自其它系統共用的MAU-1、2新風組。

空氣凈化設備廠家闡述凈化工程的意義

一、對生產過程的重要影響：室內生產環境是制約工業生產，特別是高科技生產能否進行的關鍵因素之。例如，在微電子行業的芯片生產過程中，對微粒的控制達到分子級，否則生產就無法進行，或者生產出次品;在kang菌素的年產環境中，如果存在某些微生物，生產就不能正常進行。

二、對產品質量的影響：生產環境是影響產品質量的重要因素之一。例如，感光膠片、集成電路、化學試劑、精密儀表和微型電機等產品，如果被粉塵玷污，就會降低質量甚至報廢;在食品加工業中，微牛物的存在會縮短保質期，降低產品質量。

三、對生產效率的影響：環境對牛產效率的影響體現在以下方面：首先，良好的生產環境不僅可以保障生產人員的身心健康和出勤率，而且能夠提高他們的工作情緒和積極性;其次，良好的生產環境可以保證生產的順利進行，提高產品的成品率。

四、造成環境污染：眾所周知，環境污染主要是由于工業污染造成的。其中，大氣污染和水體污染力而對人們的健康造成影響，另一方面也會影響生產過程和產品質量。