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發(fā)布時間:2021-07-31 18:01  
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真空泵油的真空度參數(shù)受何影響:真空泵油是真空泵的關鍵所在,好的真空泵油往往能獲得更高的真空度和使用時長。對于真空泵油的真空度要看在不同溫度情況下的數(shù)值的,溫度越高,真空度的表現(xiàn)越穩(wěn)定的就是好的油品。
1.油位過低,應加足油量到油標中間線;
2.油被沾污,油質(zhì)變壞。應更換新油;
3.油的牌號不符,應換規(guī)定牌號的真空泵油;
4.油路不通,真空泵腔內(nèi)沒有保持適當?shù)挠土俊獧z查油路及油閥的進油量,保持油路暢通;
5.進氣口的過濾網(wǎng)被堵塞。應取下過濾網(wǎng)清洗干凈,再裝上去;
真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量。
裝配不當,使轉(zhuǎn)子軸心位移,造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。
因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙,投規(guī)定的精度要求進行修復或更換。
真空泵運轉(zhuǎn)中摩擦發(fā)熱,溫升太高,使真空泵油變稀,密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫,同時,檢查有關部件配合間隙并按規(guī)定精度要求進行修理或更換。

真空泵油的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶液造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。