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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦檢漏設備的注意事項

深圳銳誠真空專業生產、銷售氦檢漏設備，以下信息由深圳銳誠真空為您提供。

1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。

2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。

3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。

4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進譜檢漏儀，應立即移去吸槍，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。

如何選擇真空檢漏儀

一．對檢漏方法的一般要求

1.檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；

2.反應時間短，可以提高工作效率；

3.能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；

4.能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；

5.穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度穩定可靠；

6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；

7.檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設備的數量和費用；

8.檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求

二．選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則

1.主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；

2.根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。

氦質譜檢漏儀

1.智能化：以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助，而現在的觸屏式，自動檢測。

2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。

3.自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節0點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。