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電子束鍍膜設備介紹

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電子束蒸鍍（Electron Beam Evaporation）是物理氣相沉積的一種。與傳統蒸鍍方式不同，電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現利用高能電子轟擊坩堝內靶材，使之融化進而沉積在基片上。電子束蒸鍍可以鍍出高純度的薄膜。

電子束蒸發鍍膜機的系統裝置介紹

1、系統自動監控和保護功能強，包括斷水報警、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統檢測與保護等。

2、分子篩吸附裝置，避免機械泵返油造成膜層污染，提高薄膜純凈度。

3、膜厚監測及控制系統，可在線監測及控制膜層厚度，膜厚儀與基片擋板聯動，形成閉環控制。采用晶振膜厚儀

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