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發布時間：2021-09-06 22:55
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化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。傳動軸桿上安裝有工業級滾柱軸承，可靠性極高，使用壽命和無故障工作時間也更長5。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。我們的泵設計具有可選的溫度設定點和高旋轉速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免發生的總體材料損失速率。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。定期檢查電動機電流值，不得超過電動機額定電流泵長期運行后，由于機械磨損，使機組噪聲級振動增大時，應停機檢查，必要時可更換易損零件及軸承，機組大修期一般為一年。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
愛德華真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
Edward真空泵油概述： 提供一系列新型油：Ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生產。機械密封維護機械密封潤滑應清潔無固體顆粒嚴禁機械密封在干磨情況下工作。大多數制造商都采用溶劑精煉制程，而這些油則采用獨特的濕法處理制程生產。這一制程不會產生氮、硫、氧和芳香烴類，因此可得到無任何雜質的清潔基料。
加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩定性和氧化穩定性，不易生銹。2抽氣速率理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉速和是否是雙側渦旋共同決定的一個反映抽氣性能的參數，也叫幾何抽速。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。特性與優勢： 加入添加劑后，Ultragrade? 油可改善真空性能、熱穩定性和氧化穩定性，不易生銹。
油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。
這些油所具備的以上特性使其適用于多種應用。
在真空泵機組定期一切換過程中，多次發生過類似異常。4、合理地選用真空泵油,將會對泵的極限分壓力、極限全壓力、起動、功率消耗、泵溫、泵性能的穩定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。在備用真空泵機組啟動、原運行泵停運后。凝汽器真空便開始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過程中，發現氣水分離器內處于負壓狀態，這是一種異常現象。好凱德真空科技分析認為，真空泵機組工作不正常，導致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。
認為真空泵機組內密封水量不足，造成真空泵機組底部水量未充滿，氣水分離器內的空氣漏入真空泵內，使得真空泵內的負壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。半導體加工我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。據此臨時采用手動啟動方式，先啟動密封水泵運行5min，然后再啟動真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時將冷卻器進行清理(發現冷卻器內較臟)，保證了密封水量充足。采取以上措施后，在倒換真空泵組運行過程中，未再有真空下降的異常發生。
