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高純/特種氣體的概念

半導體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導體制造用氣體按照使用時的危險性分類：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃氣體：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

一氧化碳性質及危害

一氧化碳氣體在生活中很常見，是是無色、無臭、無味的氣體，故易于忽略而致中i毒。標準狀況下純品的一氧化碳（CO）為無色、無臭、無刺激性的氣體，密度1.250g/l，沸點-190℃。在水中的溶解度甚低，極難溶于水。空氣混合爆i炸極限為12.5%～74%。一氧化碳進入人體之后會和血液中的血紅蛋白結合，產生碳氧血紅蛋白，進而使血紅蛋白不能與氧氣結合，從而引起機體組織出現缺氧，導致人體窒息死i亡，因此一氧化碳具有毒性。

既然一氧化碳的對人體的危害極大，那么在接觸這種氣體作業的人員企業配置一氧化碳氣體檢測儀是必不可少的。

高純氣體的原材料難以再產

高純原料氣體的質量對標準氣體制備的準確性，起著至關重要的作用，原料氣的不確定是構成標準氣體合成不確定度的極為重要部分，因此，沒有高質量的高純原料氣，就根本制備不出高準度的標準氣體。也正因如此，我國早在八十年代，為了標準氣體的需要，原化工部對我國的高純氣體研制進行了多年的資金支持。