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發(fā)布時(shí)間:2020-11-06 05:58  
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潔凈棚ffu是為快速方便建立的一座簡易潔凈室,具備多種潔凈等級(jí)及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計(jì)制作,因此其簡便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn),同時(shí)可針對(duì)一般等級(jí)的潔凈室中局部地區(qū)需要高潔凈度的地方做局部增設(shè)以降低成本。潔凈棚是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的凈化設(shè)備。3、風(fēng)機(jī)單元過濾模塊FFU:裝配專用的離心風(fēng)機(jī)60000小時(shí)無故障運(yùn)轉(zhuǎn),,具有長壽命、低噪聲、免維護(hù)、震動(dòng)小、可無級(jí)變速等特性,風(fēng)機(jī)質(zhì)量可靠加上獨(dú)特的風(fēng)道設(shè)計(jì),大大提高了風(fēng)機(jī)的效率,高效過濾器為H1399。主要由方通、PVC防靜電簾、空氣過濾器、FFU、燈具等組成,使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄鳎瑥亩WC了工作區(qū)內(nèi)所要求的潔凈度。
深圳市源泰爾潔凈室設(shè)備有限公司是從事潔凈室爭化系統(tǒng)工程總承建高的高新技術(shù)企業(yè),公司以承接光電與顯示電子工業(yè)精密儀器、生物制藥、食品、化妝品、實(shí)驗(yàn)室等高新領(lǐng)域企業(yè)100級(jí)--10萬級(jí)空氣凈化工程的設(shè)計(jì)、制造安裝、調(diào)試,檢測等綜合性成套服務(wù)為經(jīng)營方向。周圍一般都是采用防靜電網(wǎng)格簾或是有機(jī)玻璃,送風(fēng)部用均采用FFU潔凈送風(fēng)單元。
風(fēng)速的控制潔凈棚內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí),能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。2、防靜電PVC網(wǎng)格簾:四周采用防靜電PVC網(wǎng)格簾/有機(jī)玻璃,防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。
另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風(fēng)速有異,特別是在壁面,氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,一般潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
潔凈棚ffu的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。在FED-STD-2中,潔凈室被定義為一個(gè)帶有空氣過濾的房間并且還是一個(gè)可以做到分配、優(yōu)化、輸送建筑材料和設(shè)備,具有特定的操作規(guī)則來控制空氣中顆粒物的濃度,以達(dá)到適當(dāng)?shù)念w粒清潔度等級(jí)的潔凈設(shè)備。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。