昆山氣體管道安裝常用解決方案「多圖」

氣體管道安裝

在實驗室設計領域中，實驗室供氣系統的規劃設計是相當重要的。不僅是給試驗操作人員一個良好的工作環境，更加是對試驗人員的人身安全的一個保障。所以在實驗室設計之初我們就應該把供氣系統的設計規范考慮進去。整個系統安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃，以確保整個系統的潔凈度。相應等級的實驗室就應該有相應的設計規范，這樣才能完i美的設計出一個利于工作而保證安全的實驗室。

一、氣瓶間及氣瓶的安全規范

（1）氣瓶應專瓶專用，不能隨意改裝其它種類的氣體。

（2）氣瓶室嚴禁靠近火源、熱源和有腐蝕性的環境。

（3）氣瓶室必須使用防爆開關和燈具，周圍禁止動用明火。

（4）氣瓶室應有通風設備，保持陰涼，氣瓶室頂部應該留有泄流孔防止易i燃氣體的聚集。

（5）空瓶與實瓶分區放置，氣瓶室易i燃易i爆氣瓶應該與助燃氣瓶隔離。

（6）瓶閥、接管螺絲和減壓閥等附件完好齊全，無漏氣、滑絲、表針松動等危險情況，各類氣壓表一般不得混用。

（7）氣瓶在儲存、使用時必須直立放置，工作地點不固定且移動頻繁時，應固定在專用手推車上，防止傾倒，嚴禁臥放使用。

（8）氣瓶嚴禁靠近火源、熱源和電氣設備，與明火距離不少于10m，氧氣瓶和乙i炔氣瓶同時使用時，不能放在一起。

（9）使用后的空瓶，應移至空瓶存放區，并加上空瓶的標示，嚴禁空瓶與實瓶混存。

（10）氣瓶中氣體不可用盡，必須保持一定余壓。

（11 ）氣瓶須定期檢驗，不得超過使用氧氣瓶、乙i炔氣瓶，液化石油i氣瓶的檢驗周期為3年、氮氣瓶的檢驗周期為5年。

（12）氣瓶應放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對日用氣量不超過一瓶的氣體，實驗室內可放置一個該種氣體的氣瓶，但氣瓶應有安全防護設施。

（13）氫氣和氮氣的氣瓶存放間應有每小時不小于三次換氣的通風措施。

高純氣體配管及附件材質的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規模集成電路前工序高純氣體輸送系統管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應用SS316L-EP管。（6）瓶閥、接管螺絲和減壓閥等附件完好齊全，無漏氣、滑絲、表針松動等危險情況，各類氣壓表一般不得混用。

注：①管路型式以氣體特性設計，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應氣體，則選用高i級別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應的氣體則選用SS316L-BA管。

②對于自燃爆i炸，有劇i毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內/外管材質一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設計的主要目的有兩點，首先可保護內管直接受到外力撞擊，其次能將由內管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關的檢測設備檢測，目前常用的設計有正壓和負壓兩種方式，負壓設計是將內外管間抽成真空，正壓設計則是灌以氮氣維持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報器檢知泄漏狀態。5米左右，氣體管路就需要有支架，另外根據氣體管路彎曲的直徑，設置合適的支架位置。

通常采用的方法有機械噴砂、化學溶液清洗、化學拋光、電拋光等，目前廣泛應用的管材有光亮退火管和電拋光管。

氣體管道怎么安裝？

1.終端設計布局

a)  系統設計為二級調壓面板系統。終端采用壁掛式設計，面板上設有調壓閥、輸出壓力指示表、緊急切斷閥（球閥/隔膜閥），同一墻面氣路的呈上下對應并排或上下交錯排布，方便操作及美觀。面板為不銹鋼材質。（具體安裝位置參見圖紙）

注：壁掛式終端標準型，該終端可以實現在室內對設備的壓力調節、輸出壓力的監控及氣路開關控制，省去了每日往返于氣瓶間和實驗室的奔波，提高了辦事效率。

b)  控制終端上的氣體出口尺寸要與設備的氣體入口尺寸相對應，氣體出口接頭還應方便安裝。

2.氣路的布線              

a)  氣瓶間內一級調壓裝置面板與實驗室內的氣路終端之間選用SS316L  EP/ BA管進行連接，管道內表面光潔度為Ra＜0.1-0.3UM管道。

b)  主管線采用OD1/2”(12.7MM)的管道（具體管道尺寸根據流量壓力長度來確定）0.5MPA壓力下流量可達到20m3/H,完全滿足常規用氣需求，支管采用OD1/4”(6.35MM)的管道，用焊接三通/彎通分出支路來對設備進行供氣。

c)  管道穿過障礙物時須使用管套并采用不可燃材料填充間隙，管道需用固定卡具固定在管道的支架上，管道支架為槽鋼結構，材質為鍍鋅或者不銹鋼，美觀大方，與墻體和管道固定牢固。

d)  氣體管路在鋪設過程中要做到橫平豎直，為保證管道走線的直線度和管道間的間距，每間隔一定距離應設置一組管卡，卡具應由不燃材料制作而成。

e)  管道之間采用先進的美國全自動定位軌道式TIG進行內外保護（TIG）方式連接，其優點是泄漏率可到1 x 10-9 cc.atm/sec.He,且不會再內表面產生氧化層或褶皺等焊接缺陷。

f)  應盡量減少彎曲以防止被傳輸的氣體壓力、流量損失過大。壓力管道拐彎應力集中區應由安全加固，設計合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲，管道小的可用專業的工具配合使用，管道大的應采用彎頭焊接或者卡套形式連接，以確保使用流暢。