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六氟化硫在常溫常壓下為氣態，其臨界溫度為45.6℃，三相點溫度為-50.8℃，常壓下升華點溫度為-63.8℃。該技術在大幅降低液晶產品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環保前景，近年來用量有明顯的提高。六氟化硫分子結構呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。

六氟化硫制備：

使SO2在過量的F2中燃燒可生成SF6。反應溫度約650℃，產物在冷阱中凝聚，其中除SF6外主要雜質是SO2F2。純化時將其通過裝有水和熱的10%KOH溶液的洗滌瓶，后用P4O10干燥。

急救措施

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。

吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。

消防措施危險特性：若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和bao 的危險。有害燃燒產物：氧化硫、氟化氫。滅火方法：該品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、SOF4等以及原料中帶入的雜質如HF、OF2、CF4、N2、O2等。六氟化硫在常溫常壓下為氣態，其臨界溫度為45.6℃，三相點溫度為-50.8℃，常壓下升華點溫度為-63.8℃。

儲存注意事項：儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。

六氟化硫氣體泄漏檢測技術

 SF6氣體泄漏檢測主要采用了電化學技術、電i擊穿技術和紅外光譜吸收技術。

 1、電化學技術：電化學技術的原理是被檢測氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發生相應的化學反應，從而產生電信號的改變，以此來發現被檢測氣體。

 2、電i擊穿技術：電i擊穿技術是從SF6氣體在電力上的典型應用——作為絕緣氣體應用在GIS開關柜中演變而來的。其工作原理是根據SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測空氣中的高壓電極間電壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。

 3、紅外光譜吸收技術：紅外光譜吸收技術(又稱激光技術）的原理是SF6作為溫室氣體，對特定波段的紅外光有很強烈的吸收特性。