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發(fā)布時(shí)間:2021-10-10 05:31  
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選擇真空泵注意事項(xiàng):
1、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆粒灰塵,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知旋片真空泵道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
2、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。
東莞市三木森自動(dòng)化設(shè)備有限公司是一家專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售節(jié)能真空泵,雙級(jí)節(jié)能真空泵,無(wú)油節(jié)能真空泵,無(wú)油雙級(jí)節(jié)能真空泵,羅茨真空泵,螺桿真空泵,無(wú)油螺桿真空泵,中央真空系統(tǒng),泡沫廠中央真空系統(tǒng)的廠商。節(jié)能、環(huán)保的基富產(chǎn)品,全系統(tǒng)設(shè)計(jì)與安裝工程,售后、保養(yǎng)為一體專業(yè)性方案是公司核心優(yōu)勢(shì)。
水環(huán)真空泵(又名液環(huán)式真空泵)是市面上粗真空應(yīng)用范圍內(nèi)較為廣泛的真空泵,液環(huán)泵在使用過(guò)程中經(jīng)常出現(xiàn)真空泵達(dá)不到使用要求,像這樣的情況基本上科歸類為一下幾點(diǎn):
1)、真空泵循環(huán)水水溫,溫度過(guò)高,
2)、管道布局不合理,泄露、直角彎頭。
3)、排液管道布局不合理,管道長(zhǎng),背壓大

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵,才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求,同時(shí)又能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行,延長(zhǎng)真空泵維修維保時(shí)間,節(jié)約運(yùn)行成本,保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率,保證設(shè)備產(chǎn)能。
在CVD、PECVD、ALD等工藝中,真空腔體會(huì)通入各種各樣的工藝氣體來(lái)完成產(chǎn)品表面薄膜工藝,這些工藝氣體在反應(yīng)過(guò)程中有時(shí)會(huì)大量粉塵或容易結(jié)晶,如果粉塵和結(jié)晶物不能及時(shí)排除真空泵外,就容易在真空泵內(nèi)沉積,堆積到一定量時(shí)就會(huì)造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯,需要及時(shí)下機(jī)保養(yǎng)和維護(hù),否則的話就會(huì)造成真空泵的更大的損壞,但是干式泵的維護(hù)成本又比較昂貴,選擇一臺(tái)耐粉塵,維保周期長(zhǎng)的真空泵是非常重要的。