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發布時間:2021-10-13 13:29  
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潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
潔凈室的管理規范:
1、嚴格各類設備,設施的維護管理,制定相應的操作規程,保證各類設備,設施按要求正常運轉,包括凈化系統,各類水,氣,電系統,生產工藝設備和工具(工具夾)等,以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度級別。
2、清掃,滅菌管理,對潔凈室內的各類設備,設施的清掃,滅菌以及方法,周期和檢查明確的規定,防止,梢除潔凈室內塵粒,微生物的生產,滯留,繁殖。
GMP潔凈車間,凈化工程規劃應確保安全出產和滿足環境保護的要求。云潔凈化工程的稍置和各項設備的規劃均有必要契合消防、防火的要求,應按國家的有關標準、標準進行規劃,由于潔凈室凈化工程內的平面和空間扣置持殊、走道彎曲等特點,在進行各項技能設備的系統規劃、設備裝備和材質選樣時,加特別留意按規定選用契合要求的系統、沒備和材質。