活塞真空泵維修的行業須知“本信息長期有效”

活塞真空泵維修的保養維護方法

針對活塞真空泵維修使用過程中出現的一些問題，活塞真空泵維修專家總結出了以下關于真空鍍膜機真空泵的日常保養以及維護方法。

1、開動電機，當真空泵正常運轉后，打開出口壓力表和滑閥真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。

2、盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內，以保證真空泵在點運轉，才能提高節能的效果。

3、真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環境溫度35℃，上至溫度不得超過80℃。

4、如發現真空泵有異常聲音應立即停車檢查原因。

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活塞真空泵維修薄膜加工中的應用

微電子器件是現代高速計算機和個人計算機的基礎,當今在某些發達國家,微電子和計算機工業已經超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業而占國民經濟產值的前沿。在電子工業和計算機工業的發展中,活塞真空泵維修科學與技術做出了重要貢獻。

微電子器件的發展,將推動人類社會更快地進步。微電子器件的發展趨勢是大規模集成電路,集成度越來越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越來越小。其規律是莫爾（Moore）定律所描述的,每18個月同樣大小芯片上的元件數增加一倍。過去20年是這樣,電子學家預言,未來的15年仍是這樣。

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活塞真空泵維修的保養小竅門

真空鍍膜產品長期暴露在空氣中，面對酸堿等強腐蝕性物質的接觸，還是難以抵擋。因此，平時保養維護時，盡量不選用含強酸強堿或去污能力強的清洗劑，如潔廁精，脫漆劑，金屬清洗劑等，可以選用工業酒精用絨布輕柔擦拭；如果表面有污垢，也要選用弱酸弱堿溶劑來處理。

此外，如果長時間暴露在惡劣環境中，或與腐蝕性液體長時間接觸，PVD膜層也容易出現脫落等問題，如游泳池（含氟），海水（含鹽分多），高溫高濕（蒸汽）等環境中。

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輔助抽氣系統：

排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

排氣流程為：

    機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。

機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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