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質量流量計簡介

質量流量：

以單位時間內(nèi)流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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流體的體積是流體溫度和壓力的函數(shù)，是一個因變量，而流體的質量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學研究、生產(chǎn)過程控制、質量管理、經(jīng)濟核算和貿(mào)易交接等活動中所涉及的流體量一般多為質量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數(shù)后，通過修正、換算和補償?shù)确椒ㄩg接地得到流體的質量。這種測量方法，中間環(huán)節(jié)多，質量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著現(xiàn)代科學技術的發(fā)展，相繼出現(xiàn)了一些直接測量質量流量的計量方法和裝置，從而推動了流量測量技術的進步。

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MFC質量流量控制簡介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質量流量控制。流體在旋轉的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業(yè)過程的流體介質流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經(jīng)振管的質量流量。不同的介質流經(jīng)傳感器時，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。

質量流量計的測量

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質量流量計直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表，因此可根據(jù)上述三個基本量而導出十幾種參數(shù)供用戶使用。質量流量計組態(tài)靈活，功能強大,性能價格比高，是新一代流量儀表。

質量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質量流量；另一類為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。

直接式質量流量計有多種類型，如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。