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發布時間：2021-09-02 07:42
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我國使用的0
我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產品更新換代周期越來越快的發展趨勢不相適應，嚴重制約了大規模集成電路技術的發展。美國ASYST公司、德國MW公司發展的使用隔離技術的亞微米生產微環境系統設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設備局部使用隔離技術的微環境，把投資比例壓縮到別的微環境，消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。
競爭方向轉變由價格競爭轉變為價值競爭
競爭方向轉變 由價格競爭轉變為價值競爭。隨著電子產品的集成化、密化、微型化、功能化等趨勢，對元器件的可靠性要求越來越高，電子信息制造業對潔凈室的要求標準也更加嚴格。微量的臟污或微弱的靜電都有可能造成元器件產品良品率的大幅降低，直接影響公司的效益。目前硬盤磁頭的靜電壓閾值已經下降到3 V以內，部分IC的封裝環境要求達到Class10，甚至Class1的水平。電子信息行業的技術發展和要求促使潔凈工程行業企業由價格競爭轉向技術競爭，只有具備技術研發、自主能力的企業才能滿足客戶需求而持續發展，才能設計和建造符合要求的的潔凈室，相關技術和服務能力的提升將成為未來市場競爭的焦點。
光學微電子凈化工程凈化參數
學微電子凈化工程一般包括：
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、 設備區（包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）
光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。
換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波動±2℃。
溫度45－65%；GMP車間濕度在50%左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的10%－30%；照度300LX。
