北京特種氣體生產廠家-專業廠家「在線咨詢」

特種氣體：氦氣

液氦的沸點極低（4.25K），使其成為高科技領域的寵兒：一是低溫超導。液氦溫度極低，可為超導磁體提供低溫環境，其中應用廣的為磁共振成像（MRI）。醫1院核磁共1振成像儀的核心大都是超導磁體，只有在液氦的低溫下才能穩定運行，產生穩定的磁場，保證高分辨率成像。二是低溫冷卻。可是這種檢漏體系雜亂，需求依據被檢產品的容積和形狀設計真空密封室，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無走漏，或者采取特別的結構設計將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

液氦廣泛用于原子反應堆的冷卻介質和清洗劑。三是測溫。由于氦氣的液化溫度很低，接近于絕1對零度，故其測溫范圍很廣，多用于精密測量。

特種氣體系統：

主管路系統的設計

對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會考慮配置的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計，壓力調節閥。對于劇1毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計，即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。該辦法檢測靈敏度高，能完成小型密封容器產品的走漏檢測，能夠進行批量化檢測。后管道還要有良好的接地。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。

預制間的選擇

特種氣體管道的施工對環境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現場 安裝的方法。按照標準，預制作業需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。

特種氣體有哪些？

特種氣體主要包括電子氣體、醫1療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下游1行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“糧食”和“源”，現有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。特種氣體:高純氯1氣高純氯1氣應用高純氯1氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導體行業，被用作蝕刻氣體和脫水劑，而其中光纖行業用量較大。