氣體質量流量控制器公司的行業須知「多圖」

質量流量計簡介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個因變量，而流體的質量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學研究、生產過程控制、質量管理、經濟核算和貿易交接等活動中所涉及的流體量一般多為質量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數后，通過修正、換算和補償等方法間接地得到流體的質量。這種測量方法，中間環節多，質量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著現代科學技術的發展，相繼出現了一些直接測量質量流量的計量方法和裝置，從而推動了流量測量技術的進步。

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MFC質量流量控制簡介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質量流量控制。流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的，簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業過程的流體介質流經傳感器的振動管，就會在振管上產生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。