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發布時間：2020-07-29 21:54
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無塵車間潔凈室管理制度
1 半導體制造業必須在潔凈的環境中進行，在施工中必須遵循行業規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。為了保證項目的成功，現場的每一位人員都必須遵守。
2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。
3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規定的原則進行管理。
實力公司用案例說話，全國各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費咨詢、設計，可就近安排去感興趣的工程項目實地參觀考察
無塵車間凈化工程的凈化原理
氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→送風口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風夾道→新風、初效空氣處理。
重復以上過程，即可達到凈化目的。
技術參數
換氣次數：十萬級10－15次/小時；
萬級15－25次/小時；
千級50－52次/小時;
百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s；
壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區≥10Pa；
溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；
相對濕度：45－65％（RH）；
噪聲≤65dB（A）；
新風補充量：總送風量的20％－30％；
照度：≥300Lux。
結構材料
1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.地面采用環氧自流平或耐磨塑料潔凈地板。
3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。
無塵車間潔凈度等級劃分標準
ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關受控環境內空氣潔凈度的技術要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標準方法.
為劃分等級,ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標準協議,以依據大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識.
ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標準中的一個標準.除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環境的設計、技術要求、運行和控制中予以考慮.
