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              發(fā)布時間:2021-04-01 04:19  

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              凈化空調(diào)的通風風管和部件應選用

              凈化空調(diào)的通風風管和部件應選用鍍辭鋼板,風管內(nèi)表層一定是平整光滑的,不可在管內(nèi)加固改造通風風管,咬接應選用聯(lián)合角咬口,接縫處一定要涂密封膠。通風風管連接不宜采用內(nèi)法蘭。通風風管一定要設密封清掃孔,總管上需有風量測定孔(支干管上依據(jù)需要設置),過濾器前后要有測壓孔。防爆區(qū)通風排風管咬口縫要用焊錫密封。風管安裝以后、保溫之前應開展漏風常規(guī)檢查。送回風管用漏光法常規(guī)檢查應無漏光,系統(tǒng)空調(diào)器漏風率不宜超過2%。擦拭空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)表層選用不容易掉纖維的材料。


              潔凈室(區(qū))內(nèi)設置真空泵時,應符合下列規(guī)定

              潔凈室(區(qū))內(nèi)設置真空泵時,應符合下列規(guī)定:1.電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵,應采用不燃泵油,并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2.對傳輸含有可燃氣體的真空泵,可燃氣體濃度超過下限的20%時,應設尾氣處理裝置,在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分。3.使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置,除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)。


              工藝氣體種類多,純度高,并且有毒

              工藝氣體種類多,純度高,并且有毒。安全問題突出,為保證系統(tǒng)的安全和穩(wěn)定可靠,建議采用進口成熟產(chǎn)品。因為 MOCVD 生長使用的源是、、毒性很大的物質(zhì),并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料,因此在MOCVD 系統(tǒng)的設計思想上,通常要考慮系統(tǒng)密封性要好,流量、溫度控制要,組分變換要迅速,系統(tǒng)要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。