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發布時間:2021-08-20 20:10  
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半導體凈化車間設計的設計范圍
半導體凈化車間設計的設計范圍包括:裝修方案(圍護、地面防水保溫處理),暖通方案(空調設備、風管、水管等),特氣供應方案(特氣柜含保險控制、房間氣體監測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理),電氣方案(空調設備動力配電等),弱電工程,集成控制智能平臺,純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢水處理。

有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法
現今社會,無塵凈化車間的裝修被很多生產型企業所重視,無塵凈化車間不僅能對產品的精度、質量、穩定性及成功率等都有顯著的作用,同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術。對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11039m3/小時)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點,使用其他的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪后再吸附或焚燒。

凈化廠房的凈化車間設備
凈化廠房的凈化車間設備:凈化車間進風系統要安裝新風過濾箱、凈化空調末端要有送風口。必要時要安裝凈化增壓箱。凈化車間回風系統:回風口、過濾初效器、中效回風箱;凈化車間前入緩沖區:緩沖區門安裝電子互鎖,更衣處放置潔凈儲衣柜、空氣清新機凈化廠房裝修中人、貨物進入凈化車間必須經過風淋室(貨淋室),傳遞窗傳遞小物品;凈化廠房裝修中在凈化車間局部需要達到10——1000級的地方安裝垂直層流工作臺、層流罩(FFU)潔凈棚(可移動式工作棚)、自凈器。測無塵室潔凈度用激光塵埃粒子計數器。

廠房裝修注重消防報批 廠區方面的要求首先就是安全,為了安全一定不要忽視消防器材安裝,安裝消防設施前需要到當地的消防局進行報批,工程完工后還需要報審。一般報批消防手續需要10天左右才可以完成,所以在裝修前應先找消防公司進行此項工程的洽商。在現代的廠房裝修中對消防的要求也有一定的規范,如果廠房要吊頂,場內所有的噴口一定要漏出吊頂一定尺寸,而且要保持水平。