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              發布時間:2020-11-08 09:38  

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              視頻作者:蘇州振鑫焱光伏科技有限公司






              電池片的制作工藝

              振鑫焱光伏科技有限公司常年采購:高價回收硅片,電池片,初級多晶硅,銀漿布,單晶硅,多晶硅,太陽能電池,光伏組件,太陽能電池板,客戶撤退,降級,庫存,El,不良測試,二手,舊,工程,拆卸,路燈,拆解電站,拆卸,膠合板,層壓板,無邊界晶體硅,多晶硅,單晶硅,實驗板,債務償還,返工,光伏模塊回收等。

              影響因素

              1 .頻率

              射頻 PECVD 系統大都采用 50kHz~13.56 MHz 的工業頻段射頻電源。較高頻率( >4MHz )沉積的氮化硅薄膜具有更好的鈍化效果和穩定性。

              2 .射頻功率

              增加 RF 功率通常會改善 SiN 膜的質量。但是,功率密度不宜過大,超過 1W/cm2 時器件會造成嚴重的射頻損傷。

              3 .襯底溫度

              PECVD 膜的沉積溫度一般為 250 ~ 400 ℃ 。這樣能保證氮化硅薄膜在HF 中有足夠低的腐蝕速率,并有較低的本征壓力,從而有良好的熱穩定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉積的氮化硅膜,本征應力很大且為張應力,而溫度高于 450 ℃ 時膜容易龜裂。

              4 .氣體流量

              影響氮化硅膜沉積速率的主要氣體是 SiH4 。為了防止富硅膜,選擇NH3/SiH4=2~20 (體積比)。氣體總流量直接影響沉積的均勻性。為了防止反應區下游反應氣體因耗盡而降低沉積速率,通常采用較大的氣體總流量,以保證沉積的均勻性。

              5 .反應氣體濃度

              SiH4 的百分比濃度及 SiH4/NH3 流量比,對沉積速率、氮化硅膜的組分及物化性質均有重大影響。

              理想 Si3N4 的 Si/N = 0.75 ,而 PECVD 沉積的氮化硅的化學計量比會隨工藝不同而變化,但多為富硅膜,可寫成 SiN 。因此,必須控制氣體中的 SiH4 濃度,不宜過高,并采用較高的 SiN 比。除了 Si 和 N 外, PECVD 的氮化硅一般還包含一定比例的氫原子,即 SixNyHZ 或 SiNx :H 。

              6 .反應壓力、和反應室尺寸 等都是影響氮化硅薄膜的性能工藝參數。







              電池片常見異常情況處理方法

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              六、 虛印:

              1、 網版堵塞:用醇先擦一遍,再用干無塵布擦干;

              2、 印刷刮刀條不平:更換刮刀條;

              3、 網版不合格:更換網版;

              4、 車間溫度與濕度不合適:溫度控制在22±2℃,濕度控制在50±3%;

              5、 印刷參數不合格:調整印刷壓力、印刷間隙與印刷速度

              6、 工作臺板不平,磨損嚴重:檢查更換工作臺板;

              7、 印刷機導軌不平:設備重新調整導軌;

              七、 粗線:

              1、 原硅片為線痕片:控制線痕原硅片;

              2、 網版使用次數太多,張力不夠:更換新網版。







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