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無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說話，全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

1.主要針對(duì)直到主要施工完成后。包括屋頂，覆層，門和窗戶。所有工人必須從圖紙上標(biāo)明的通道進(jìn)出施工現(xiàn)場(chǎng)。每個(gè)入口將會(huì)有清洗店。所有工人進(jìn)入必須保持鞋子干凈。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應(yīng)該保持適當(dāng)?shù)母蓛簟，F(xiàn)場(chǎng)安全規(guī)則必須時(shí)刻遵守。所有設(shè)備和材料必須從一個(gè)入口進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。施工現(xiàn)場(chǎng)內(nèi)不允許吃東西，吸煙，喝酒。 每班結(jié)束時(shí)，必須清走所有垃圾和廢舊物品?？傊麄€(gè)施工現(xiàn)場(chǎng)每天必須保持干凈。

2．主要針對(duì)直到gridline B西邊潔凈區(qū)域的內(nèi)墻完成。此時(shí)，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區(qū)域。其他供應(yīng)商如果要進(jìn)入潔凈區(qū)域，必須提前向承包商提出申請(qǐng)，得到允許后方可進(jìn)入。工人、設(shè)備和材料的入口是經(jīng)過威世半導(dǎo)體(西安)有限公司管理人員同意的。gridlines 1和2之間的通向成品倉(cāng)庫(kù)的外門。設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。gridlines 15和16之間的通向原料倉(cāng)庫(kù)的外門。 其它入口必須經(jīng)過潔凈工程承包商的書面批準(zhǔn)。兩個(gè)入口旁邊將會(huì)為很可能造成污染的材料準(zhǔn)備或拆包預(yù)留區(qū)域。進(jìn)如潔凈區(qū)域之前，材料和設(shè)備不允許有臟物或由掉下，并且應(yīng)該用干凈的干布擦拭干凈。

無塵車間的監(jiān)測(cè)

1. 為確保無塵車間的凈化環(huán)境和無塵度，需對(duì)無塵車間定期監(jiān)測(cè)，監(jiān)測(cè)項(xiàng)目和頻次照有關(guān)規(guī)定。如有特殊要求，可另行規(guī)定。

2. 發(fā)現(xiàn)下列情況，空氣過濾器應(yīng)予更換：

(1) 氣流速度降到低限度，即使更換初效和中效空氣過濾器后，氣流速度仍不能增大。

(2) 空氣過濾器風(fēng)量為原風(fēng)量的70%。

(3) 空氣過濾器出現(xiàn)無法修補(bǔ)的滲漏。

無塵車間潔凈度等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644的本部分ISO分級(jí)的各級(jí)別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測(cè)試的程序,而且確定了測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)方法.

為劃分等級(jí),ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí).  

ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn).除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮.