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復合式ULSI制程大都采用此種型式

復合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

2．凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：①彈性擴充容易;②維修設備時可在維修區輕易執行。

電話和火警設備不能少潔凈廠房設置電話

空調凈化需關注節能

空調凈化是能耗大戶，設計與施工中需關注節能措施。在設計中，系統及區域的劃分，送風量計算，溫度與相對溫度的確定，潔凈級別與換氣次數的確定，新風比，風管保溫，風管制作中的咬口形式對漏風率的影響，干管支管連接角度對氣流阻力的影響，法蘭連接是否漏風等以及空調箱、風機、冷水機組等設備選擇無一不與能耗有關，所以，這些細節必須要考慮到。

電話和火警設備不能少

潔凈廠房設置電話，對講電話，可以減少人員在潔凈區走動，減少發塵量，也可在萬一發生火災時及時與外部聯系，也為正常工作聯系創造條件。此外，還應設置火災報警系統，防止火情不易被外部發現而造成重大經濟損失。

鍛造生產車間粉塵與粉塵解決方式

因無塵室在生產制造生產過程中會造成一部分有機廢氣、粉塵也有噪聲，尤其在一些機器設備較為老舊的軋鋼廠，因為年久失修和加工工藝的落伍，所造成的有機廢氣和粉塵等對周圍環境導致的危害更高。常見于鍛造生產車間的粉塵與粉塵解決方式有三種:針對鍛造生產車間粉塵粉塵整治所選用的方式，一般有三種方法可列舉：一部分除灰凈化處理、全體人員除灰凈化處理法和工業除塵。從根源來解決，選用大中型粉塵處理設備解決。也就大伙兒常說的中間除塵設備、布袋式除塵器、濾筒式除塵器去解決，這就是以根本原因處理粉塵難題。

1、工作人員的管理方法--制訂有關管理制度，如《潔凈車間管理規定》：從工作人員進到凈化車間-拆換防污衣-風淋室-進到凈化車間的-生產過程主題活動管控規定-出凈化車間等管理方法關鍵。

2、在進到千級凈化車間以前，設備和原材料應盡量維持密封性情況。在進到千級凈化車間以前，她們務必在進到千級凈化車間以前根據氣體淋浴室。在全部全過程中，務必戴一個密封性的安全頭盔和一個小的排氣管帶。

3、清理管理方法：①創建凈化處理設備、機器設備、防污服務項目的按時標準清理頻率，按時清理，不一樣地區清理頻率需不一樣；②學習培訓清理工作人員，清理具體方法開展學習培訓，選用從上至下，從左往右方法清理;③監管清理的實效性。

4、濕式電除塵器的原理：當汽體在離心風機的吸引住下從集塵器蓋的風管進到漩流板油煙凈化器時，它根據灑水沖擊性隔水層，更改汽體的健身運動方位，使細顆粒物因為慣性力而再次向原先的方位健身運動。大部分細顆粒物粘附在水中后會留到水里。沖擊性水浴后，一部分細顆粒物隨汽體挪動，與沖擊性霧水和循環系統自噴水緊密結合，在行為主體中進一步充足混和。

灌裝凈化車間的尺寸依必須而定

灌裝凈化車間好是能與外部防護，不可以穿梭或受別的要素影響。無菌檢測灌裝車間的尺寸依必須而定，一般由更衣室、緩沖間、不銹鋼風淋室和操作室構成。更衣室放到外，關鍵供拆換衣服帽子、鞋等；緩沖間坐落于更衣室與不銹鋼風淋室中間，也可另外和好多個操作室互通；操作室放到內間，關鍵供商品灌裝，屋子應不會受到日光照射，尺寸適度，高寬比適合(實際依據生產線設備的高寬比明確)。屋子過大，清理和消菌麻煩；過小，實際操作麻煩；頂端過過高危害紫外光的合理殺菌實際效果。墻面應光潔無死角，便于清理和消菌。飲品（食品類）無菌檢測灌裝凈化車間應是封閉式并維持車間負壓差為正壓力，設定室內消毒用的紫外線滅菌燈、空氣凈化凈化器和控溫設備。