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根據廢氣的預熱方式及富集方式，催化燃燒工藝流程可分為 3 種。

(1) 預熱式催化燃燒。預熱式是催化燃燒的基本流程形式。有機廢氣溫度在100℃以下、濃度也較低時，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫。通常采用煤氣或電加熱將廢氣升溫至催化反應所需的起燃溫度；燃燒凈化后的氣體在熱交換器內與未處理的廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。

(2) 自身熱平衡式催化燃燒。有機廢氣溫度高且有機物含量較高，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用，通過熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，正常操作下能夠維持熱平衡，不需補充熱量。

(3) 吸附-催化燃燒。當有機廢氣的流量大、濃度低、溫度低 , 采用催化燃燒需消耗大量燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附成為高濃度有機廢氣（可濃縮10倍以上）后再進行催化燃燒。不需要補充熱源就可維持正常運行。

催化燃燒系統原理根據吸附（）和催化燃燒（節能）的兩個基本原則設 計，采用雙氣路連續工作，一個催化燃燒室，兩個吸附床。現將有機 廢氣用活性炭吸附，當快達到飽和時停止吸附，然后用熱氣流將有機 物從活性炭上吸附下來使活性炭再生；脫附下來的有機物已被濃縮（ 濃度較原來提高幾十倍）并送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水 蒸氣排出。

催化燃燒其原理是把有機廢氣加熱到760攝氏度以上，使廢氣中的VOC在氧化分解成二氧化碳和水。氧化產生的高溫氣體流經的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此“蓄熱”用于預熱后續進入的有機廢氣。從而節省廢氣升溫的燃料消耗。陶瓷蓄熱體應分成兩個（含兩個）以上的區或室，每個蓄熱室依次經歷蓄熱-放熱-清掃等程序，周而復始，連續工作。蓄熱室“放熱”后應立即引入部分已處理合格的潔凈排氣對該蓄熱室進行清掃（以保證VOC去除率在95%以上），只有待清掃完成后才能進入“蓄熱”程序。