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發布時間:2021-08-08 22:09  
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影響誠薄機誠薄硅片平整度的因素有哪些?
要保證硅片厚度的一致性。因為當研磨時,由于磨料分布不均勻,使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會不一樣,所以要想保證硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時間時將行星齒輪片翻轉后再進行研磨,從而確保硅片厚度的一致性,同時也讓硅片厚度公差得以縮小,具體要研磨多久才進行翻車專為適當,是要根據減薄厚度和測試結果來定的。
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誠薄機對晶片誠薄的必要性及作用?
根據制造工藝的要求來講,目前對晶片的尺寸、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶結構提出了較高的要求,因此,在制造工藝的過程中減薄機對晶片減薄是相對不可缺少的一部分。那么,關于晶片減薄的必要性及作用具體體現哪些方面呢?
1.提高芯片的散熱性能要求
在集成電路中,由于硅基體材料及互聯金屬層存在電阻,在電流的作用下,芯片要產生的發熱現象。而在芯片工作的過程中,由于部分熱量的產生,使得芯片背面產生內應力。芯片熱量逐漸升高,基體層之間的熱差異性加劇,這無疑加大了芯片的內應力。較大的內應力使芯片生產,這是芯片損壞的主要原因之一。因此,只有通過減薄機對晶片背面進行減薄,才可以降低芯片熱阻,有效提高芯片的散熱性能,從而降低了芯片破損的風險,提高了集成電路的可靠性。2.集成電路制造工藝要求
通過對晶片減薄工藝后,使其更加有利芯片分離,在一定程度上提高了劃片的質量以及成品率。在許多集成電路制造領域內,大家對集成電路芯片超薄化的要求是越來越高,要想得到高質量的超薄芯片,我們就必須通過晶片減薄工藝的方式從而獲取。
通過以上兩點可以得出,只有通過減薄機對晶片減薄,才能更好的保證芯片的厚度及尺寸等方面的要求,這也足夠充分的體現了晶片減薄工藝的重要性。
減薄機設備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營項目:雙面研磨機,內圓磨床,外圓磨床,減薄機,軸承磨加設備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
減薄機本設備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍寶石、其他半導體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅動器組件,砂輪,砂輪主軸及驅動組件,絲桿導軌進給組件及其他輔助配件構成。
立式減薄機IVG-200S
設備概述:
名稱: 立式減薄機
型號: IVG-200S
該設備采用立式主軸結構,工作時磨盤與工件盤同時旋轉,磨盤的進給采用微米步進電機進給系統,磨盤采用杯式金剛石磨盤,不但加工精度高,而且加工效率很高,為普通研磨效率的10倍以上。該系列設備廣泛應用各類半導體晶片、壓電晶體、光學玻璃、陶瓷、藍寶石襯底、FDD表面、電子過濾器、碳化硅等材料的超精密平面加工。
