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發布時間：2020-11-10 10:17
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氦質譜檢漏原理
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氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術，氦檢漏設備，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，氦檢漏設備價格，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離，這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發生偏轉，由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏設備保養，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量，電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。
氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣，是因為氦氣具有以下優良特性：
①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；
②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；
③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；
④氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷任何設備；
⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。
氦檢漏設備的注意事項
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1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。
2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。
3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。
4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進譜檢漏儀，應立即移去吸槍，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。
氦質譜檢漏儀燈絲脆斷故障
檢漏技術在我國經濟中占有非常重要的地位，被廣泛應用于半導體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車等行業。
氦質譜檢漏法與泡檢漏法、壓強衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監測靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無毒性、無破壞性、質量輕等優點，是諸多檢漏法中有效的方法。
氦質譜檢漏儀在使用過程中，常見的故障就是燈絲脆斷，氦質譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因為純鎢絲高溫使用發生再結晶以后變得很脆，再受到沖擊或震動時極易斷裂。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯能量，降低位錯移動的晶界阻抗，從而使位錯遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現象稱為“萊塑化效應”。該效應降低了氦質譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風險，錸濃度高時的塑化效應降低。
鎢錸絲具有高熔點，高強度、高硬度、高塑性、高的再結晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉變溫度等優點。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發脆斷，在有氫氣存在的情況下，會加速碳化。
檢漏儀的保養注意事項
1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間
2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。
3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。
4.檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）
5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。
6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發現問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。
